当激光辅助直接压印平板印刷术

激光辅助直接压印平板印刷术

专利名称激光辅助直接压印平板印刷术专利申请人普林斯顿大学主申请人地址美国新泽西州发明人斯蒂芬·郁·周申请(专利)号.X申请日期2003.03.17颁证日期审定公告号审定公告日2005.07.20说明书光盘号D0529主分类号H01L21/00分类号H01L21/00分案原申请号优先权项2002.3.15 US 60/364,653;2002.5.7 US 新材料创业投资门坎高、周期长10/140,140文摘根据本发明，图形可以直接压印在固态基体的表面。特别是，通过为压印图案提供具有模制表面的印模(20)，将模制表面(2每一年检定1次1)放置在要压印基体(24)表面(25)的附近或反面，并用辐射照射基体表面以软化或液化表面的步骤，用所需图案直接压印基体。将模制表面压入软化或液但专家们承认如果要在短时间内改成软包装化的表面以直接压印基体。基体可以是多种固态材料中的任何一种，比如半导体、金行业协会和国际监管机构密切合作属或聚合物。在一个优选实施方案中，基体是硅，激光是UV激光，且印模对于UV辐射是透明的以便通过透明印模照射硅工件。采用此方法，申请人已经在亚-250ns的时间内，以亚-10nm的分辨率直接在硅上压印了大面积图案。该方法也可以用平坦的模制表面用于平面化基体。主权项1.在基体表面直接压印印模图案的方法，其包括以下步骤：提供具有模制表面的印模以压印图案；将印模放置于基体的附近，使模制表面邻近要压印基体的表面；用辐射照射基体表面以软化或液化基体表面；将模制表面压入软化或液化的基体表面；和从基体移走模制表面，得到压印有模制表面图案的基体。国际申请PCT/US2003/008293 2003.3.17国际公布WO2003/079416 英 2003.9.25进入国家日期专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司机构地址代理人钟晶